在真空条件下已经进行了许多工业过程。线性和旋转调节机构必须极其精确和可靠地工作，几乎不需要维护，也很少出现故障。在真空中使用电动机时，用户必须考虑许多因素。

如果您想自动化真空过程，那么使用标准组件就不会太遥远。普通电机会污染颗粒和分子沉积物，从而污染真空。诸如润滑剂，粘合剂，绝缘材料和电路板材料之类的有机物质的放气会凝结在真空室或mingan的测量仪器上加工的工件上。

作为一种据说便宜的解决方案，标准电动机通常安装在真空室内。这些通过轴穿通驱动腔室内的机械师。乍一看节省了空间。但是，要实现多维运动的自动化，确实会变得困难。如果您费心地使用导链和复杂的机械装置，那么所获得的空间将很快消失。

使用标准电机和轴套也有很大的风险。衬套本身的密封是一个磨损点。在最坏的情况下，真空会不受控制地受到干扰，并且整个产品批次都会在此过程中被破坏。结果，不仅有必要更换泄漏的衬套-还必须重建腔室内的真空。

轻松实施多轴力学

在国际研究中，真空技术已经使用了数十年。电机是在真空中运行的，这使得轴穿通成为多余，故障很少发生。例如，在马克斯·普朗克地球物理研究所的大型真空系统中，研究机构的时间紧迫，迫使人们必须使用故障安全解决方案。

现在，工业界也对此感兴趣，这不仅是成本问题。系统设计和安装大大简化，避免的停机时间和维护成本也相当可观。使用真空马达，即使是复杂的多轴机械装置也可以轻松实现，例如用于电子显微镜的被检样品的x，y，z方法。

直接在真空中使用具有许多优点，但对驱动器也有特殊要求。发动机必须以低排放，强劲而高精度的方式工作。因此，高分辨率混合式步进电机特别适合。它们可以精确，动态地定位，而不会使反馈电子装置放气，并且由于其坚固的结构，它们为极端的环境条件做好了准备。为了延长使用寿命并尽可能降低脱气率，使用了优质材料作为绝缘材料和特殊润滑剂。根据真空等级和计划的占空比，一些制造商还提供优化的调节过程。

真空中的温度管理

特别要注意真空中的温度管理。一方面是由于绕组中的欧姆和电感损耗，另一方面是由于再磁化导致的铁和铜损耗，在电机中产生热量。需要的转矩或速度越大，电动机中的热损失就越大。因此，真空电动机必须具有比标准电动机更好的耐热性。特殊材料和智能加热概念至关重要。流行的钕磁铁由于居里温度低而不合适，因为它们已在真空应用的典型温度范围内消磁。由于没有可用的空气作为冷却介质，由此产生的能量损失（除了热辐射）仅通过所连接的机械装置的传导来消除。通过直接集成到绕组中的温度传感器进行监控，确保符合限值。

涂层工艺的用户特别受益于这些优化的性能。例如，在OLED生产中的溅射系统中，通常要达到500°C或更高的温度，除气速率必须最小，旋转运动必须极其精确和均匀。正确组装的真空步进电机可直接用于需要扭矩的地方，通过适当的控制，可为复杂要求提供出色的解决方案。

设计真空应用

为了可靠，高性能地设计真空应用，必须考虑多个方面：从避免关键轴直通到选择合适的球轴承，润滑剂和耐高温磁体系统，再到集成温度传感器及其监控能力。来自研究和太空旅行的成熟技术也可以在这里用于工业应用。真空马达是为满足这些高要求而设计的，理想情况下，制造商已经对其进行了调理，因此可以立即使用。

市场提供步进电机控制，除了适当的输出级外，还具有集成的温度和旋转变压器监控模块，从而保证了zuida的精度和使用寿命。如果制造商还为电机提供滚珠轴承服务，则对应用程序的使用寿命几乎没有限制。（文章来源网络，侵权即删）